Цель изучение дисциплины - углубление знаний о физических и технологических основах построения микро и наносенсорных устройств. При освоении дисциплины «Микро и наносенсорные устройства», формируются базовые знания по фундаментальным физическим основам принципов действия микро и наносенсорных устройств, а также будут получены общие представления о возможных путях дальнейшего развития микро и наносенсорных устройств